氣體質(zhì)量流量計(jì)與質(zhì)量流量控制器是指主要適用小微流量（從0.000001m3/小時(shí)到300m3/小時(shí)，對(duì)應(yīng)管徑從直徑3mm到65mm）氣體測(cè)量和控制的傳感器和自動(dòng)化設(shè)備。按原理分類主要有兩種：1、層流壓差原理的氣體質(zhì)量流量計(jì)與質(zhì)量流量控制器；2、熱式原理的氣體質(zhì)量流量計(jì)與氣體質(zhì)量流量控制器。

層流壓差原理圖

層流壓差原理的質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，因其原理特點(diǎn)，只需檢測(cè)到氣體壓差、壓力和溫度，即可測(cè)控氣體流量。易度自主設(shè)計(jì)的傳感器可檢測(cè)到極微小流量下產(chǎn)生的壓力、壓差，因此易度質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器可測(cè)控極微小氣體流量，標(biāo)準(zhǔn)型最小測(cè)控量程0.5sccm（更小量程可定制）。那么0.5sccm是個(gè)什么概念？

易度層流壓差流量計(jì)

0.5sccm是標(biāo)準(zhǔn)狀況下0.5ml/min（毫升每分鐘），

也就是500uL/min（微升每分鐘），

按正常量程比：100:1來算，其實(shí)際測(cè)控范圍是5uL/min~500uL/min，

最小測(cè)控流量5uL/min是什么概念?

83nL/s（納升每分鐘）。這個(gè)流量有多小？

舉例來說：一瓶礦泉水通常容積為550mL，如果給礦泉水空瓶充滿氣體到標(biāo)況溫度和壓力下，大約需要110000分鐘，1833個(gè)小時(shí)，76天。

易度極微小層流質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器滿足極微小流量測(cè)控需求，非常適合在泄漏測(cè)試、氣密性測(cè)試、微通道反應(yīng)系統(tǒng)等行業(yè)場(chǎng)景下使用。

泄漏測(cè)試-醫(yī)藥行業(yè)包裝

氣密性測(cè)試-燃料電池電堆

氣密型測(cè)試設(shè)備    

 微通道反應(yīng)系統(tǒng)